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金属-半导体-金属(MSM)结构4H-SiC紫外光电探测器的研制
MSM结构探测器具有结构与工艺简单、制备成本低、量子效率高等特点而在探测器应用中得到重视.本文制备了采用镍作为肖特基接触形成......
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